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100年以上の歴史をもつADEKA Corporationは、
半導体の材料の中でもALD/CVD向け材料で先頭に立ち、
韓国の半導体産業の重要な役割を果たしております。

ADEKAは、1917年創業した100年以上の歴史ある化学メーカーで
1981年高純度液化塩素の製造を開始して以来、高純度ガス、CVD材料のパイオニアとして 半導体、FPD、光通信の各分野の発展に貢献してまいりました。
20年以上、半導体製造企業である御客様へ製品を量産供給しており、製品の精製技術、分析技術、専用のCanister洗浄・整備技術など、品質管理の分野に強みを持っております。

半導体分野では更なる微細化、高集積化に伴い、様々な新規素材の登場が期待されております。 ADEKAは業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手してまいりました。 その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客さまより高い評価を博しております。

ALD / CVD Precursors

ALD / CVD Precursors
Use Item Element Product Appearance
High-k Al₂O₃ Al Aluminium Al(mmp)₃ Liquid
TMA : Alme₃ Liquid
Ta₂O₅ Ta Tantalum TBTDET : t-BuN=Ta(NEt₂)₃ Liquid
TBTEMT : t-BuN=Ta(NEtMe)₃ Liquid
NB₂O₅ Nb Niobium TBTDEN : t-BuN=Nb(NEt₂)₃ Liquid
TBTEMN : t-BuN=Nb(NEtMe)₃ Liquid
HfO₂ Hf Hafnium Hf(MMP)₄ Liquid
HTTB : Hf(OtBu)₄ Liquid
*TDMAH : Hf(NMe₂)₄ Solid (m.p. 32℃)
ZrO₂ Zr Zirconium Zr(MMP)₄ Liquid
ZTTB : Zr(Ot-Bu)₄ Liquid
TiO₂ Ti Titanium Ti(MMP)₄ Liquid
TTTB : Ti(OT-Bu)₄ Liquid
TEMAT : Ti(NEtMe)₄ Liquid
Rare earth Dy Dysprosium Dy(EDMDD)₃ Viscous liquid
Dy(s-BuCp)₃ Liquid
La Lanthanum La(EDMDD)₃ Solid (m.p. 150℃)
La(i-PrCp)₃ Liquid
Pr Praseodymium Pr(EDMDD)₃ Solid (m.p. 150℃)
Pr(s-BuCp)₃ Liquid
Sc Scandium Sc(EDMDD)₃ Viscous liquid
Y    Yttrium Y(s-BuCp)₃ Liquid
Yb Yterbium Yb(EDMDD)₃ Viscous liquid
STO Sr Strontium Sr(METHD)₂ Viscous liquid
Ti Titanium Ti(MPD)(THD)₂ Viscous liquid
Ferroelectrics BIT Bi Bismuth Bi(MMP)₃ Solid (m.p. 49℃)
Ti Titanium Ti(MMP)₄ Liquid
Electride
Barrier metal
TiN Ti Titanium TiCl₄ Liquid
TDMAT : Ti(NMe₂)₄ Liquid
TEMAT : Ti(NEtMe)₄ Liquid
Ru/RuO Ru Ruthenium Ru(OD)₃ Viscous liquid
Ru(EtCp)₂ Liquid
Dielectric Film SiO₂ Si Silicon Si(MMP)₄ Liquid
TEOS : Si(OEt)₄ Liquid
TICS : Si(NMe₂)₃ Liquid
SiO₂/SiN *TDMAS : HSi(NMe₂)₃ Liquid
Low-k TMCTS : (-Me(H)SiO-)₄ Liquid
Optical Devices ZnO Zn Zinc Zn(EDMDD)₂ Liquid
Zu(OD)₂ Liquid
High-Purity Solvent     ECH : Ethylcyclohexane Liquid (b.p. 132℃)
Octane Liquid (b.p. 126℃)

Etching gas · Dielectric Film Materials

Etching gas · Dielectric Film Materials
Item Product Formula Purity
Etching Gas ADEKA HIGH PURITY CHLORINE Cl₂ ≧ 99.999 %
ADEKA HIGH-PURITY HYDROGRN BROMIDE HBr ≧ 99.999 %
ADEKA HIGH-PURITY BORON TRICHLORIDE BCl ≧ 99.9999 %
Dielectric Film ADEKA SUPER TEOS Si (OC₂H₅)₄ ≧ 99.999995 %
Dopant ADEKA HIGH-PURITY TMOP PO (OCH₃)₃ ≧ 99.999995 %
ADEKA HIGH-PURITY TEOP PO (OC₂H₅)₃ ≧ 99.999995 %
ADEKA HIGH-PURITY TMB B (OCH₃)₃ ≧ 99.999995 %
ADEKA HIGH-PURITY TEB B (OC₂H₅)₃ ≧ 99.999995 %