半導体の製造工程に必要な前駆体用の特殊容器であるCanister。
Level制御システム関連の基盤技術を用いたCanisterを設計・製造・販売しております。
- ALD, CVD Precursor Canister.
- 各種のLevel Sensorを用いて残量の確認が可能なType、Float Type、
Ultrasonic Type、 連続型のLevel Sensor、Point型のLevel Sensor等、
お客様のニーズに合わせてCanisterを供給します。
- Features & Advantages
-
EP polished 316L stainless steel for all wetted surfaceM
Working Press : ≤0.7MPa
Leak Check Condition : <1E-9Pa · ㎥/s [He Leak Check]
VCR, UPG connections for inlet, outlet and refill port
Air-tight Metal C-seals prevent moisture permeation and contamination.
Canister Size [1L, 2L, 4L, 5G Possible to Customize]
