반도체 제조공정에 필수적으로 필요한 전구체용 특수 용기,
Level 제어 시스템 관련 기반기술을 이용한 Canister 설계, 제조, 판매하고 있습니다.
- ALD, CVD Precursor Canister.
- 각종 Level Sensor를 이용하여 잔량 확인 가능한 Type, Float type, Ultrasonic type,
연속형 Level Sensor, Point형 Level Sensor 등 사용자 요구에 맞는 Canister 공급이
가능합니다.
- Features & Advantages
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EP polished 316L stainless steel for all wetted surfaceM
Working Press : ≤0.7MPa
Leak Check Condition : <1E-9Pa · ㎥/s [He Leak Check]
VCR, UPG connections for inlet, outlet and refill port
Air-tight Metal C-seals prevent moisture permeation and contamination.
Canister Size [1L, 2L, 4L, 5G Possible to Customize]
